應用介紹

【行業】半導體

【設備】刀輪劃片機

應用場景

NCS非接觸測高檢測

解決課題

1、在晶圓或基板切割過程中，隨著刀輪持續使用會出現磨損，導致切割精度下降。為保持切割質量穩定，需不斷監測刀片磨損狀態，并根據磨損量動態補償進給量。

2、在刀片高速旋轉的切割作業中，檢測系統需確保磨損量測量數據穩定可靠，避免因測量失準導致的切割深度偏差或材料損傷。

價值提案

核心產品：智能光纖放大器 E3NX-FA

■E3NX-FA通過寬光帶光纖實時采集刀片工作狀態的光信號，將其轉換為電壓信號輸出以檢測刀片的磨損量，為刀具補償提供即時數據支持。

■模擬量輸出型放大器配備多種檢測模式，配合NCS使用，實現檢測參數遠程配置與實時數據反饋，顯著提升系統響應速度與抗干擾能力，滿足復雜產線環境下的高精度檢測要求。

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智能光纖放大器E3NX-FA

光纖單元E32系列

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