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歐姆龍成功事例 | 半導體等離子清洗機的引線框架突出檢測應用

歐姆龍成功事例 | 半導體等離子清洗機的引線框架突出檢測應用

應用介紹

【行業】半導體

【設備】清洗機/AMHS

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應用場景

引線框架的浮起檢測,防止引線框架無法送入軌道內。

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解決課題

1、引線框架本身較薄,極易彎曲,存在引線框架翹曲造成輸送軌道堵塞的風險,即使是微小的彎曲浮起也需要穩定的檢測。

2、傳感器安裝較遠,且引線框架彎曲的方向比較隨機,無法完全保證傳感器受光部接收的光路不被遮擋。

價值提案

核心產品:智能激光傳感器 E3NC

■E3NC擁有1級激光光源,可通過精密光學系統控制光斑直徑≤2mm,有效覆蓋引線框架微米級變形區域,確保引線框架彎曲浮起的穩定檢測。

■E3NC采用同軸型檢測頭,消除因框架表面彎曲引發的反射光路徑偏移,避免檢測時的干擾。

■E3NC備有網絡型放大器,方便導入并監控傳感器實時狀態,并進行批量快速的傳感器設置。

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相關產品

智能激光傳感器 E3NC

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審核編輯(
王靜
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