應用介紹

【行業】半導體

【設備】測量設備

應用場景

通過在不同溫度（-55℃-150℃）循環檢測晶圓各個區域的方式，測試晶圓性能。

解決課題

1、探針檢測時芯片局部發熱，會導致芯片檢測區域溫度波動，超過一定幅度會影響檢測節拍。

2、原溫控表+PCB板方案只能通過PCB板做多路PV輸入的平均值，無法做切換控制。(工藝需要使用最高 PV值做控制，且需要ms級切換)。

價值提案

核心產品：溫度控制單元 NX-TC

■利用外部干擾抑制功能，將溫度波動控制在較小限度，縮短溫度變穩定所需的時間，避免影響檢測節拍。

*上位PLC不需要溫度控制程。NX-TC在模塊內部進行運算，所以不需要編寫溫度控制程序。

■采用ECT主站+NX-TC3408模塊替代溫控表控制熱盤溫度，主站ECT進行PIDAT控溫，縮短節拍及抑制超調。（穩態控溫精度+0.1℃，超調小于0.5℃）

相關產品

溫度控制單元 NX-TC

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